A na-eji akara carrmaas ma ọ bụ ngụkọta ngụkọta na oghere laser dị ka n'azụ nchekasị na enyo na mpempe akwụkwọ na sistemụ nnyefe SUM.
Silicon bụ mkpụrụ okwu kachasị eji; Uru ya bụ ọnụ ahịa dị ala, ịdị ogologo ndụ, na nkwụsi ike.
Molybdem Enterm nke siri ike na-eme ka ọ dị mma maka gburugburu nkịtị. A na-enyekarị enyo mo enyo.
| Nkowa | Ụkpụrụ |
| Ntachi obi | +0.000 "/ -0.005" |
| Onye A Nwere Obi Ajọ | ± 0.010 " |
| Parallelism: (Plogo) | Nkeji 3 arc |
| Na-acha uhie uhie (nke a na-egbu egbu) | 90% nke dayameta |
| Ọnụ ọgụgụ dị elu @ 0.63UM | Ike: 2 frings, na-enweghị atụ: 1 frger |
| Nnyocha | 10-5 |
| Aha | Dayameta (mm) | Et (mm) | Mkpuchi |
| M enyo | 30 | 3/6 | Enweghị mkpuchi, Aoi: 45 Celsius |
| 50.8 | 5.08 | ||
| Silicon enyo | 30 | 3/4 | Hr @ 106Um, Aoi: 45 Celsius |
| 38.1 | 4/8 | ||
| 50.8 | 9.525 |
